3D сады


Выращивание покрытия проводят плазменным разрядом


Плазменное напыление покрытий

При плазменном способе нанесения покрытий напыляемый материал разогревается до жидкого состояния и переносится на обрабатываемую поверхность при помощи потока плазмы с высокой температурой. Напыляемый материал выпускается в виде прутков, порошков или проволоки. Порошковый способ наиболее распространенный.

Уникальность метода плазменного напыления заключается в высокой температуре (до 50 тыс. градусов по Цельсию) плазменной струи и высокой скорости (до 500 м/с) движения частиц в струе. Нагрев же напыляемой поверхности невелик и составляет не более 200 град.

Производительность плазменного напыления составляет 3-20 кг/ч для плазмотронных установок мощностью 30...40 кВт и 50-80 кг/ч для оборудования мощностью 150...200 кВт.

Плазменное напыление

Прочность сцепления покрытия с поверхностью детали в среднем равна 10-55 МПа на отрыв, а некоторых случаях — до 120 МПа. Пористость покрытия находится в пределах 10...15%. Толщина покрытия обычно не более 1 мм, так как при ее увеличении в напыляемом слое возникают напряжения, стремящиеся отделить его от поверхности детали.

Плазменно-дуговое напыление в сочетании с одновременной обработкой поверхности вращающейся металлической щеткой позволяет уменьшить пористость покрытия до 1-4%, а общую толщину напыления увеличить до 20 мм.

Плазмообразующими газами служат азот, гелий, аргон, водород, их смеси и смесь воздуха с метаном, пропаном или бутаном.

Для плазменного напыления используют проволоку, в том числе порошкового типа, порошки из черных и цветных металлов, никеля, молибдена, хрома, меди, оксиды металлов, карбиды металлов и их композиции с никелем и кобальтом, сплавы металлов, композиционные материалы (никель-графит, никель-алюминий и др.) и механические смеси металлов, сплавов и карбидов. Регулирование режима напыления позволяет наносить как тугоплавкие материалы, так и легкоплавкие.

Основой для плазменного напыления могут служить металлы и неметаллы (пластмасса, кирпич, бетон, графит и др.). Для нанесения покрытий на небольшие поверхности применяется микроплазменный способ напыления, который позволяет сэкономить потери напыляемого материала (ширина напыления 1-3 мм).

Детали плазмотрона

С целью повышения адгезии напыленных покрытий, защиты от окисления, уменьшения пористости используется метод плазменного напыления в защитной среде (вакуум, азот, смесь азота с аргоном и водородом) и с применением специальных сопел, закрывающих область между распылителем и обрабатываемой поверхностью. Перспективным направлением в технологии плазменного напыления является сверхзвуковое напыление.

Процесс плазменного напыления включает 3 основных этапа:

1) Подготовка поверхности.

2) Напыление и дополнительная обработка покрытия для улучшения свойств.

3) Механическая обработка для достижения чистовых размеров.

Предварительные размеры поверхностей под напыление должны быть определены с учетом толщины напыления и припуска на последующую механическую обработку. Переходы поверхностей должны быть плавными, без острых углов, во избежание отслаивания покрытия. Отношение ширины паза или диаметра отверстия к его глубине должно быть не меньше 2.

Порошки для напыления

Детали перед напылением должны быть тщательно очищены и обезжирены. Ремонтные детали, имеющие замасленные пазы или каналы, следует нагреть в печи при температуре 200-340 град. в течение 2-3 часов для выпаривания масла.

Далее производится активация поверхности — придание ей определенной шероховатости для обеспечения адгезии. Активацию производят при помощи обдува детали сжатым воздухом с абразивом или нарезанием рваной резьбы.

Абразив выбирают зернистостью 80...150 по ГОСТ3647, или применяют чугунную/стальную дробь ДЧК, ДСК №01...05 по ГОСТ 11964.

Металлическая дробь не применяется для обработки жаростойких, коррозионно-стойких сталей и цветных металлов и сплавов, т. к. может вызвать их окисление.

Шероховатость поверхности под плазменное напыление должна составлять 10...60 Rz, поверхность должна быть матовой.

Поверхности, не подлежащие абразивной обработке, защищают экранами. Зона обдува на 5+/-2 мм должна быть больше, чем номинальный размер напыленной поверхности.

Тонкие детали закрепляют в приспособлениях с целью предотвращения их коробления во время обработки.

Расстояние от сопла до детали при абразиво-струйной обработке должно находиться в пределах 80...200 мм, меньшие значения принимают для более твердых материалов, большие — для мягких. После этого детали обеспыливают путем обдува сжатым воздухом.

Промежуток времени между очисткой и напылением должен составлять не более 4ч, а при напылении алюминия и других быстро окисляющихся материалов — не более часа.

Нарезание рваной резьбы вместо абразиво-струйной обработки применяют для деталей с формой тел вращения. Резьбу нарезают на токарном станке обычным резьбовым резцом, смещенным ниже оси детали. Резьбу нарезают без охлаждения за один проход. Шаг резьбы выбирают по таблице 1.

Для плазменного напыления следует применять порошки одной фракции, форма частиц — сферическая. Оптимальный размер частиц для металлов составляет около 100 мкм, а для керамики — 50...70 мкм. В случае, если порошки хранились в негерметичной таре, их нужно прокалить при температуре 120...130 градусов в течение 1,5-2 ч в сушильном шкафу.

Те части детали, которые не подвергаются напылению, защищают экранами из асбеста или металла, или обмазками.

Предварительный подогрев детали перед напылением осуществляют плазмотроном до температуры 150...180 градусов.

Режимы обработки определяют опытным путем. Средние значения режимов плазменного напыления следующие:

1) Расстояние от сопла до детали — 100...150 мм.

2) Скорость струи — 3...15 м/мин.

3) Скорость вращения детали — 10...15 м/мин.

4) Угол напыления — 60...90 градусов.

В таблице 2 приведены рекомендуемые режимы для различных материалов.

Общую толщину покрытия набирают несколькими циклами с перекрытием полос напыления на 1/3 диаметра пятна напыления.

После напыления деталь снимают с плазмотрона, удаляют защитные экраны и охлаждают до комнатной температуры.

Рисунок 1 - Принципиальная схема плазменного порошкового напыления: 1 - подвод плазмообразующего газа, 2 - катод плазмотрона, 3 - корпус катода, 4 - изолятор, 5 - корпус анода, 6 -порошковый питатель, 7 - подвод газа-носителя порошка, 8 - плазменная дуга, 9 - источник питания.

Рисунок 2 - Принципиальная схема плазменного напыления с применением проволоки: 1 - подвод плазмообразующего газа, 2 - катод плазмотрона, 3 - корпус катода, 4 - изолятор, 5 - корпус анода, 6 - механизм подачи проволоки, 7 - сплошная или порошковая проволока, 8 - плазменная дуга, 9 - источник питания.

Рисунок 3 - Структура покрытия, напыленного плазменным способом

Для улучшения качества напыленных покрытий применяют следующие приемы:

1) обкатка роликами под электрическим током;

2) напыление с одновременной обработкой металлическими щетками;

3) оплавление покрытий из самофлюсующихся сплавов. Оплавление производят с помощью печей, ТВЧ, нагретых расплавов солей и металлов, плазменным, лазерным или газопламенным способом. Температура оплавления покрытия никель-хром-бор-кремний-углерод составляет 900..1200 градусов.

Чистовые размеры деталей после плазменного напыления получают точением и шлифованием с охлаждением водными растворами и водно-масляными эмульсиями. Шлифкруги выбирают из электрокорунда марки Э на керамической связке, зернистостью 36...46, твердостью СН. Режимы шлифования следующие: скорость вращения круга 25...30 м/с, подача круга 5...10 мм/об, скорость вращения детали 10...20 м/мин, подача детали 0,015...0,03 мм/дв.х.

Далее производят окончательный контроль, в случае, если на поверхности детали с напылением есть трещины, отслоения, риски, чернота, не выдержаны чистовые размеры, то деталь возвращают на исправление дефекта (не более 1 раза), при этом область напыления должна быть увеличена на 10...15 мм по периметру.

www.electrolibrary.info

Технология плазменного нанесения покрытий

Данные технологии интенсивно развивались в России в 60 80 годы прошлого века как в научном, так и в прикладном плане, в основном в оборонных отраслях промышленности, что позволило достичь высоких показателей в ракетно­космической отрасли, военном авиастроении, создании турбин различного назначения. Научный потенциал, достигнутый в тот период, до настоящего времени во многом не реализован.

В 90е годы это перспективное направление военнопромышленного комплекса серьезно пострадало. Так, понесли значительный урон ведомственные лаборатории и научные школы, занимавшиеся прикладными задачами по внедрению покрытий в производство; практически остановилось развитие материальной базы данных технологий и, прежде всего, создание современного оборудования и материалов; был значительно утерян кадровый потенциал работавших по данной проблематике специалистов.

Вынужденная ориентация на применение зарубежных разработок (оборудования, материалов и технологий) в этом вопросе противоречит национальным интересам, так как данные технологии имеют двойное применение и используются в оборонных отраслях промышленности, а значит, поступают на внешний рынок только после серьезного устаревания в научном и прикладном плане.

Наиболее перспективной в гамме газотермических технологий является технология плазменного напыления.

Основы технологии плазменного напыления

Сущность технологии заключается в получении низкотемпературной плазмы на основе электродугового разряда в среде различных газов или их комбинаций. Плазма (поток ионизированного газа с температурой 20000oС…30000oС) образуется в специальном генераторе плазмы – плазматроне (рис. 1). Для сравнения: газотермические методы, основанные на создании струи за счет сгорания газов дают возможность получения температуры струи до 3000oС, что ограничивает технологические возможности метода.

В полученный в плазмотроне поток плазмы вводится в определенном месте порошок металла, металлокерамики или керамики, который практически мгновенно оплавляется, разгоняется до скорости 100…500 м/сек и выше и наносится на деталь (рис. 2). При этом деталь не нагревается более чем до 100 –150°C.

В результате на поверхности детали формируется сравнительно тонкое покрытие (как правило в пределах 0,2 – 1 мм) с высокими эксплуатационными показателями.

На установке, созданной в ООО «Техплазма», получена сверхзвуковая компактная плазменная струя, которая дает возможность формирования покрытий с более высокими эксплуатационными показателями (рис. 3).

За счет изменения параметров процесса и состава наносимого материала появляется возможность создавать поверхностный слой на детали с различными свойствами, создавая тем самым:

  • Износостойкие и антифрикционные покрытия – толщина покрытия 0.2…1.5 мм.

  • Электроконтактные и электроизоляционные покрытия толщина покрытия 0.01…0.3 мм.

  • Теплозащитные и жаростойкие покрытия толщина 0.2…10 мм.

  • Коррозионностойкие и декоративные покрытия из любых термопластичных полимеров – толщина покрытия 0,1…5 мм.

Примеры износостойких покрытий

Наиболее весомым узлом, обеспечивающим надежность двигателя, является цилиндропоршневая группа, а важнейшую роль в этом играет правильный выбор материалов сопряжения трущейся пары «втулкакольцо».

Мировой опыт показывает, что процесс плазменного напыления является эффективным методом решения указанных проблем. Так, фирма Sulzer Metco ввела в эксплуатацию линию по производству дизельного двигателя VW’s V10 TDI для моделей Touareg и Phaeton с плазменно напыленным покрытием на внутренней стенке цилиндра. Польза от реализации высокой технологии плазменного напыления заключается в повышении времени жизни и экономичности двигателя за счет снижения износа, коэффициента трения и защиты от коррозии.

В России двигатели с подобным решением отсутствуют.

ООО «Техплазма» разработало технологию создания износостойкого покрытия применительно к двигателям повышенной мощности, начиная с диаметра поршня 130 мм до 360 мм, предусматривающую нанесение на внутреннюю поверхность чугунных втулок (гильз) смеси металлических порошков, создающих покрытие с повышенными эксплуатационными показателями.

Отработка и испытания технологии производилась применительно к задаче восстановления цилиндровых втулок дизельных двигателей для тепловозов, судовых дизелей и дизельгенераторов.

Технология нанесения покрытия на внутреннюю поверхность втулок заключается в следующем:

  • в качестве заготовки используется изношенная по внутреннему диаметру втулка, которая растачивается по внутреннему диаметру в единый размер.
  • на подготовленную поверхность методом плазменного напыления наносится состав на основе металлических порошков, подобранный с учетом обеспечения оптимальной работы пары: поршень – втулка.

Нанесенный на внутреннюю поверхность втулки новый слой имеет более высокие, чем основной металл втулки, показатели по твердости и износостойкости. Существенному повышению износостойкости может способствовать и переход на металлокерамические порошки.

Кроме эффекта повышение износостойкости, нанесенный слой имеет пористую структуру, что обеспечивает высокие показатели по маслоудерживающей способности стенок втулки и создает лучшие условия для работы цилиндропоршневой группы.

Оценка прочности сцепления, проведенная по методике определения прочности хромовых покрытий, принятой на заводеизготовителе (по состоянию границы излома кольцевых образцов), показала отсутствие сколов по границе покрытиеоснова, что свидетельствует о достаточной прочности сцепления покрытия с чугуном цилиндровой втулки (рис. 4).

На основании полученных результатов была спроектирована технологическая линия, и с 2003 года начат выпуск восстановленных втулок для различных заказчиков в системе ППЖТ, речного транспорта и дизель электростанций. Линия позволяет восстанавливать чугунные втулки цилиндров дизельных двигателей диаметром от 130 до 360 мм и длиной до 1100 мм. На созданной линии выпущено по состоянию на 01.01.2010 года более 6500 втулок для различных двигателей. За период применения восстановленных втулок с 2002 года случаев отслоения нанесенных покрытий не было.

С учетом накопленного опыта совместно с ВНИИЖТ была откорректирована и согласована с ОАО «РЖД» технология восстановления цилиндровых втулок для дизелей Д49. Для втулок отдельных дизелей Д49, кроме восстановления внутреннего размера втулки и посадочных мест, актуальной задачей является нанесение противокавитационных покрытий в зоне водяного охлаждаемого контура, которая успешно решается нанесением противокавитационного покрытия на внешнюю сторону втулки (рис. 5).

Созданная технология восстановления втулок цилиндров дизельных двигателей при определенной доработке может стать основой для создания универсальной цилиндро – поршневой группы повышенного ресурса, а также отечественных дизелей с повышенным ресурсом на уровне мировых показателей. Данное решение используется и для повышения износостойкости цилиндров компрессоров (рис. 6).

Применение износостойких покрытий на основе молибдена решает задачу повышения ресурса колец синхронизаторов для коробок передач (рис. 7, 8).

Существенный рост ресурса работы узла происходит при переходе на применение в качестве покрытий керамики и металлокерамики. Как и при переходе на керамическое покрытие для нитетранспортирующих валов в легкой промышленности, стойкость последних повышается в 8 – 10 раз по сравнению с покрытием из гальванического хрома.

Эффективно применение керамики и для упрочнения валов насосов в зоне сальникового уплотнения, которое является более дешевым, чем применяемое в настоящее время торцевое уплотнение (рис. 9).

Нанесение покрытий на основе как металлокерамики, так и металлических покрытий, особенно в сочетании с высокоскоростным напылением, дает реальное повышение ресурса работы бурового оборудования (рис. 10) либо задвижек (рис. 11).

Электроизоляционные и электроконтактные покрытия

Надежность работы соединений электротехнических групп, особенно с применением разнородных металлов алюминий – медь, зависит от надежности зоны контакта в долговременном плане. Возникновение в течение времени в зоне контакта окисных пленок может приводить к термическому разрушению контактного соединения.

Создание покрытий на поверхности деталей на основе металлов может достаточно эффективно осуществляться с помощью технологии плазменного напыления. В качестве примера, на рис. 12, 13 показано покрытие на основе Ni, которое обеспечивает долговременную защиту от коррозии соединения меди и алюминия.

Покрытие является коррозионно­ и химически стойким, обладает более высокой стойкостью при долговременном контакте как с алюминием, так и с медью, способно сохранять свои свойства в более широком температурном диапазоне – до 600°, устойчиво к механическим воздействиям и является более надежным и долговечным.

В ряде случаев в электродвигателях возникают условия, при которых через подшипники проходит электрический ток. Особенно часто это явление встречается в тяговых электродвигателях рельсового транспорта, в промышленных энергоэффективных двигателях переменного тока повышенной мощности при применении частотных преобразователей, в генераторах. В результате прохождения тока на телах качения и беговых дорожках подшипников возникают явления микросварки, которые перерастают в видимые повреждения, имеющие характерный вид рифленых канавок различной глубины. Это приводит к снижению срока службы подшипника и необходимости переборки двигателя с заменой подшипников.

Реальным методом борьбы с данным явлением является выполнение надежной электроизоляции между корпусом электродвигателя и подшипником или подшипником и валом двигателя.

Мировыми лидерами в подшипниковой отрасли принято решение, связанное с нанесением электроизолирующего керамического слоя на наружное или внутреннее кольца подшипников. В России до настоящего времени подобных подшипников не выпускалось.

На основе проведенных работ ООО «Техплазма» разработало технологию нанесения электроизоляционного слоя на закаленное кольцо подшипника (рис. 14). Кольца с покрытием после механической обработки могут быть использованы на подшипниковых заводах для сборки электроизолированных подшипников. По данной технологии выпущены опытные партии подшипников (рис. 15).

Коррозионностойкие и декоративные покрытия

Согласно ГОСТ 2830289 слой цинка толщиной до 300 мкм может обеспечить защиту металлоконструкций от атмосферной коррозии на срок более 50 лет.

Применение горячего или термодиффузионного цинкования ограничено размерами ванны или камеры. В тоже время нанесение цинкового или алюминиевого покрытия методом плазменного напыления можно осуществлять на конструкции любого размера – в том числе в построечных условиях (рис. 16, 17).

Вместе с тем проведенные работы показывают, что с применением плазменного напыления возможно нанесение на металлоконструкции порошковых полимерных материалов, включая порошковые краски (рис. 18), что способствует формированию комплексных покрытий для защиты металлоконструкций и технологического оборудования от коррозии. Применение смеси порошков на основе цинка и керамики может повысить стойкость нанесенного слоя в условиях атмосферного абразивного воздействия (пыль).

Таким образом, развитие технологии плазменного нанесения покрытий призвано решить широкий круг актуальных проблем отечественной промышленности.

к.т.н. Демидов Владимир Дмитриевич Директор СКТБ «Техплазма» Тел +7(985) 210 26 76

E mail: [email protected]

mirprom.ru

Нанесение покрытий с помощью плазмы

Henniker Plasma - оборудование для плазменной обработки поверхности

Плазма содержит положительные ионы, электроны, атомы или молекулы нейтрального газа, УФ-излучение, а также возбужденные газовые атомы и молекулы, которые могут переносить большое количество внутренней энергии. Выбирая газовую смесь, мощность, давление и т. д., мы можем совершенно точно настроить или определить влияние плазмы на поверхность. Плазменную обработку проводят в вакуумной камере. Газу подается при низком давлении перед подачей энергии в виде электрической мощности. Эти типы плазмы фактически находятся при низкой температуре, это означает, что можно легко обрабатывать термочувствительные материалы.

Плазменная обработка поверхности

Плазменная обработка поверхности модифицирует свойства поверхности без изменения свойств самого материала: можно создать гидрофобную, гидрофильную поверхность, поверхность с необходимыми свойствами. Данные процессы возможны в результате формирования на поверхности объекта слоев «плёнки» с определенными химическими свойствами. Плазменная обработка применяется во многих отраслях промышленности: производство изделий из пластмассы, фильтров, текстильной продукции, ЭКБ и т.д.

Выбирая правильные параметры обработки, мы можем делать:

Преимущества плазменного осаждения

В плазменном покрытии наноразмерный полимерный слой формируется по всей площади поверхности объекта, помещенного в плазму. Процесс нанесения покрытия занимает всего несколько минут. Полученное покрытие обычно составляет менее 1/100-й толщины человеческого волоса, бесцветное, без запаха и никак не влияет на внешний вид материала.

Плазменные покрытия – одна из самых интересных областей плазменных технологий, имеющая огромный потенциал для улучшения свойств и функций материалов в широком спектре применений. Они позволяют реализовать две главные категории свойств поверхности: полностью водоотталкивающий материал или полностью смачиваемый:

  • гидрофобные свойства поверхности: специальная обработка делает поверхность отталкивающей для воды, растворителей и масел.

  • гидрофильные свойства поверхности: гидрофильная плазменная обработка делает поверхность полностью смачиваемой.

Как происходит плазменное осаждение

Мономеры вводятся с подаваемым плазменным газом. Мономеры представляют собой небольшие молекулы, которые, при правильных условиях, свяжутся вместе с образованием полимеров. Плазма создаёт правильные условия на поверхности материала, чтобы взаимодействие происходило быстро и эффективно. Для получения гидрофобных и гидрофильных поверхностей используются различные мономеры.

Плазменное покрытие подходит для:

•           Большинства пластмасс и резиновых материалов;

•           Текстильных изделий;

•           Пластмасс для бытовой электроники;

•           Автомобильных компонентов;

•           Аэрокосмических компонентов;

•           Фильтрующих сред;

•           Металлов, стекла, керамики и композитов;

•           Медицинских пластмасс.

Оборудование Henniker для плазменного осаждения

HPT100

HPT200

HPT500

Вакуумная камера (мм)

100 мм * 281 мм

150 мм * 281 мм

250 мм * 400 мм

Настольное исполнение

+

+

+

Мощность

До 100 Вт

До 200 Вт

До 300 Вт

Настольная или отдельно стоящая установка

 настольная

 настольная

 настольная

ПОСМОТРЕТЬ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ>>

Если Вас заинтересовало  оборудование для плазменного осаждения, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты расскажут подробно о методах и установках для плазменной обработки поверхности и сориентируют Вас по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: [email protected]

sernia.ru

3.Формирование плазмохимических неорганических покрытий

Методами плазмохимии получают качественные органические и неорганические покрытия.

Неорганические покрытия, сформированные полимеризацией в плазме, обладают высокой прочностью и значительной твердостью, высокими электрофизическими свойствами. В промышленности широкое распространение получили следующие процессы.

  1. Получение покрытий кремния. Данный процесс широко используется в микроэлектронике. Осаждение покрытий осуществляют в плазме постоянного или переменного электрического разряда, в который вводятся пары силана (Sih5). В результате столкновения с быстрыми частицами в плазме происходит диссоциация, атомы кремния осаждаются на подложку, водород удаляется из реакционной камеры.

  2. Образование покрытий диоксида кремния SiО2. Данные покрытия формируются из плазмы, содержащей силан и кислород или пары воды (Sih5+O2(h3O)). В плазме происходит диссоциация силана и кислородсодержащего соединения. На поверхности адсорбируются продукты разложения и протекает реакция

Si+2O → SiO2.

  1. Получение покрытий нитрида кремния SiN. Данное покрытие осаждается из плазмы, которая содержит Sih5 и аммиак Nh4. Механизм образования слоя аналогичен описанному выше.

4. Получение покрытий из диоксида титанаTiO2. Их получают из плазмы, содержащей TiCl4 и кислород.

5. Получение покрытий из карбида кремния SiC, имеющих высокую твердость и прочность. В этом случае зажигают электрический разряд в парах Sih5 и C2h5.

Плазмохимические методы используются для получения покрытий вольфрама, молибдена. Данные покрытия осаждают из плазмы, которая содержит легколетучие соединения этих металлов, например, карбонильные, хлориды и фториды соответствующих металлов.

4. Технология формирования тонких полимерных покрытий из активной газовой фазы

В вакуумной технологии нанесения тонких полимерных покрытий можно выделить два основных направления. К первому относят наиболее разработанные и нашедшие достаточно широкое практическое применение методы осаждения полимерных покрытий на твердой поверхности в результате ионно-электронной бомбардировки адсорбированных на ней низкомолекулярных органических соединений. В соответствии с данными методами в вакуумную камеру напускается мономер (или другие низкомолекулярные соединения) до давления порядка 100 Па и ниже. Адсорбированные на поверхности подложки соединения подвергаются воздействию электронов, ионов или УФ излучения. В результате происходит возбуждение электронных уровней молекул (их активация) с последующим протеканием реакций полимеризации. Такая технология требует применения систем напуска и специальных источников активационного воздействия. Кроме этого, формирование покрытий происходит, как правило, с низкой скоростью роста, а их функциональные свойства очень сильно зависят от режима и условий синтеза, что создает ряд трудностей при реализации данных технологий.

Второй подход в технологическом отношении более прост. В качестве исходного материала используется полимер или олигомер в конденсированной фазе. Создание активной газовой среды происходит в результате воздействия на мишень (полимер или олигомер) концентрированного потока энергии (электронов, ионов, лазерного излучения или теплового нагрева за счет теплопроводности). В итоге наблюдается диспергирование (разрушение) материала мишени и образование летучих продуктов, которые поступают на поверхность подложки, и на ней создаются условия для протекания реакции вторичной полимеризации. Важной особенностью данного технологического подхода является одновременное протекание двух основных стадий: образование летучих продуктов и их активация. Как правило, формирование покрытий из большого числа полимеров не требует дополнительного энергетического воздействия на подложку. Однако в ряде случаев, когда время жизни активных частиц достаточно мало, полезным является дополнительное инициирование реакций вторичной полимеризации, например, путем создания в газовой фазе дополнительного электрического разряда. Отметим, что при больших плотностях концентрированного потока энергии, действующего на исходный полимер, возможно образование летучих фрагментов, имеющих высокую молекулярную массу. При этих режимах существенное влияние на кинетику роста и свойства покрытий оказывают процессы физической адсорбции тяжелых частиц.

При определенных условиях возможно протекание процессов газо-фазного синтеза и образования в объеме вакуумной камеры капельной фазы.

В целом, технология нанесения покрытий является относительно простой, однако имеющие место при этом физико-химические процессы являются более сложными, и изменение условий их протекания предоставляет возможность регулирования свойств покрытий в широких пределах.

studfiles.net


Смотрите также

НАС УЖЕ 77 321

Подпишись на обновления сайта! Получай статьи на почту: